株式会社ジェーイーエル

バッチ（サセプタ、トレイ）へのロード/アンロードシステム：
「SSY-10020」

LED用をはじめとするウエハ用搬送システムの新しい搬送提案です。 サセプタ（トレイ）へのウエハの自動供給、自動回収するためのシステムを提案します。

反り、薄物ウエハ対応チャック

多くのお客様のニーズにお応えし、ローコストの反り、薄物ウエハ対応チャックを開発。 お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。

2インチウエハ対応超小型搬送ロボット/アライナ：
「SSCR3090S-150-PM/SAL2241」

搬送ロボットとして世界最小クラスのボディサイズを実現しました。 アライナは2〜4インチウエハのアライメントを1台で行います。

450�oウエハ対応水平多関節型搬送ロボット：
「GTCR5280-420-AM」

450mm対応装置用の搬送ロボットとして、ツインチャックで高スループットを可能にします。 当社従来比20％増の搬送速度を実現しました。

300�oウエハ対応円筒座標型搬送ロボット：
「MTCR4160-300-AM」

ACサーボモータを搭載したツインアームロボットの小型コントローラを開発。 当社従来比65％体積減のコントローラの小型化を実現しました。

卓上ローダーシステム：
「SSY-10000」

人が手でウエハを取り扱うことによるリスクを解消し、品質の安定と歩留まりの向上を 目的としたウエハ供給システムを提案します。
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