株式会社ジェーイーエル

-記-

バッチ（サセプタ、トレイ）へのロード/アンロードシステム：
「SSY-10020」

LED用をはじめとするウエハ用搬送システムの新しい搬送提案です。 サセプタ（トレイ）へのウエハの自動供給、自動回収するためのシステムを提案します。

反り、薄物ウエハ対応チャック

多くのお客様のニーズにお応えし、ローコストの反り、薄物ウエハ対応チャックを開発。 お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。

2インチウエハ対応超小型搬送ロボット/アライナ：
「SSCR3090S-150-PM/SAL2241」

搬送ロボットとして世界最小クラスのボディサイズを実現しました。 アライナは2〜4インチウエハのアライメントを1台で行います。

卓上ローダーシステム：
「SSY-10000」

人が手でウエハを取り扱うことによるリスクを解消し、品質の安定と歩留まりの向上を 目的としたウエハ供給システムを提案します。
※左画像をクリックすると大きな画像で確認頂けます。

■ 2〜6インチウェーハ対応小型搬送ロボット/アライナ：
「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」

2〜6インチウェーハを1台のロボット、アライナで搬送することを実現しました。 コンパクトな搬送部を提案します。