展示会情報｜セミコン・ジャパン2011

セミコン・ジャパン2011のご報告

幕張メッセで開催されましたセミコン・ジャパン2011（期間12/7～9）は、盛況の内に終了しました。特にランダムアクセスできる「反り、薄物ウエハ対応ベルヌーイチャック」や「卓上ローダーシステム」については非常に多くの引き合いを頂きました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。


  • 会期…2011年12月07日(水)～09日(金)
  • 会場…幕張メッセ
  • 弊社ブース番号…5ホール 5B-607

出展品のご紹介

バッチ（サセプタ、トレイ）へのロード/アンロードシステム：
「SSY-10020」

LED用をはじめとするウエハ用搬送システムの新しい搬送提案です。 サセプタ（トレイ）へのウエハの自動供給、自動回収するためのシステムを提案します。


反り、薄物ウエハ対応チャック

多くのお客様のニーズにお応えし、ローコストの反り、薄物ウエハ対応チャックを開発。 お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。


2インチウエハ対応超小型搬送ロボット/アライナ：
「SSCR3090S-150-PM/SAL2241」

搬送ロボットとして世界最小クラスのボディサイズを実現しました。 アライナは2～4インチウエハのアライメントを1台で行います。


450㎜ウエハ対応水平多関節型搬送ロボット：
「GTCR5280-420-AM」

450mm対応装置用の搬送ロボットとして、ツインチャックで高スループットを可能にします。 当社従来比20％増の搬送速度を実現しました。


300㎜ウエハ対応円筒座標型搬送ロボット：
「MTCR4160-300-AM」

ACサーボモータを搭載したツインアームロボットの小型コントローラを開発。 当社従来比65％体積減のコントローラの小型化を実現しました。


卓上ローダーシステム：
「SSY-10000」

人が手でウエハを取り扱うことによるリスクを解消し、品質の安定と歩留まりの向上を 目的としたウエハ供給システムを提案します。
※左画像をクリックすると大きな画像で確認頂けます。