SEMICON Taiwan 2011(期間09/07〜09/09)は、盛況の内に終了しました。 お忙しい折りにもかかわらず、Challentech International Corporationのブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
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LED用をはじめとする小径ウエハ専用に開発され、2〜4インチウエハ搬送での 省フットプリントを実現した大気用搬送ロボットとアライナです。 ロボットはアームレスと リンクアームの2種類を用意しました。搬送デモにてコンパクトさを実感して下さい。 |
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スーパークリーンルーム用300mm対応MTCRシリーズで、半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しています。 全軸ACサーボによる高速搬送が可能で優れたコストパフォーマンスを実現しました。是非、実機での高速搬送をご覧下さい。 |