展示会情報｜展示会情報メニュー

第4回次世代照明展
2012年01月18日(水)～01月20日(金)
主な展示機種
・バッチ（サセプタ、トレイ）へのロード/アンロードシステム：
「SSY-10020」
・反り、薄物ウェーハ対応チャック
・2インチウェーハ対応超小型搬送ロボット/アライナ：
「SSCR3090S-150-PM/SAL2241」
・卓上ローダーシステム：
「SSY-10000」
＞詳細情報