2軸(アーム軸、旋回軸)リンクアーム仕様となります。SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能です。
エレベータ搭載時に有利な小旋回半径、ロングリーチを有するリンクアームを搭載。
全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。
| 搬送物 | 2〜4インチウエハ | |
|---|---|---|
| 動作範囲 | ワーク中心距離 | 旋回角度(θ軸) |
| 300mm(リンクアーム仕様) | 360° | |
| 搬送速度(平均速度) | アーム | 旋回角度(θ軸) |
| 285mm/sec | 300°/sec | |
| 搬送速度(最大速度) | アーム | 旋回角度(θ) |
| 400mm/sec | 360°/sec | |
| 繰り返し精度 | ±0.1mm以内 | |
| ワーク保持方式 | 吸着による保持 | |
| クリーン度 | ISO Class2 (ISO14644) | |
| フットプリント | 155mm×135mm | |
| 重量 | 約5kgf | |
| ユーティリティ | 電源 : DC24V±10% 4A 真空 : -53kPa以上 | |
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