オプションでウエハ持ち直し動作を行うためのZ軸ユニットを準備しております。
その他、ウエハ形状に合わせカスタマイズ致します。
| 搬送物 | 2インチ、3インチ、4インチウエハ 第一オリフラ、ノッチ仕様 無処理品 |
|---|---|
| 位置決め精度 | センタリング ±0.2mm以内 オリフラロケート ±0.2度以内 |
| 位置決め時間 | ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) |
| 位置補正範囲 | 半径4mm 以内 |
| ワーク保持方式 | 吸着による保持 |
| クリーン度 | ISO Class2 (ISO14644) |
| フットプリント | 160mm×270mm |
| 重量 | 約10kgf |
| ユーティリティ | 電源 : DC24V±10% 3A 真空 : -53kPa以上 |
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