ワーク(トレイ)重量4kgまでのアライメントが可能です。
2軸磁性流体式フィールドスルー、溶接ベローズ、耐真空限定反射型ファイバセンサを搭載し、耐真空度1.33x10-6Paです。耐真空限定反射型ファイバセンサを搭載することでアライナ単体での設置が可能になり、チャンバの設計自由度が高まります。
トレイ接触部材質はPEEK、Oリング(バイトン)です。
トレイ接触部材質、形状のカスタマイズに応じます。
トレイ内のウエハ配置状態に合わせて任意の角度に旋回します
| 搬送物 | φ342mm トレイ ノッチ仕様 重量 4kgf以下 |
|---|---|
| 位置決め精度 | センタリング ±0.3mm以内 ノッチロケート ±0.3度以内 |
| 位置決め時間 | ノッチサーチ 4秒以内(持ち直し動作無しの場合) |
| 位置補正範囲 | 半径2mm 以内 |
| ワーク保持方式 | メカニカルグリップ機構による保持 |
| 耐真空度 | 1.33x10-6Pa |
| フットプリント | φ400mm (真空フランジ外径) φ175x624mm(駆動部) |
| 重量 | 約25kgf |
| ユーティリティ | 電源:DC24V±10% 7A |
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