3軸(アーム軸、旋回軸、Z軸)リンクアームレス仕様となります。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能です。
従来の第2アームを廃することで、小型軽量化を進めた結果、小型モータを使用しながらも高速搬送を実現しました。(SSCR2090のリンクアームも搭載可能)
チャックを2本搭載することによりツインアーム同様の載せ替え動作が可能となります。また、SSCR2090のリンクアーム機構を搭載する事によりロングリーチ対応も可能です。
全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。
| 搬送物 | 2〜4インチウエハ | ||
|---|---|---|---|
| 動作範囲 | ワーク中心距離 | 旋回角度(θ軸) | 上下ストローク(Z軸) |
| 225mm | 360° | 150mm | |
| 搬送速度(平均速度) | アーム | 旋回角度(θ軸) | 上下ストローク(Z軸) |
| 225mm/sec | 510°/sec | 210mm/sec | |
| 搬送速度(最大速度) | アーム | 旋回角度(θ) | 上下ストローク(Z軸) |
| 300mm/sec | 700°/sec | 300mm/sec | |
| 繰り返し精度 | ±0.1mm以内 | ||
| ワーク保持方式 | 吸着による保持 | ||
| クリーン度 | ISO Class2 (ISO14644) | ||
| フットプリント | 155mm×135mm | ||
| 重量 | 約6kgf | ||
| ユーティリティ | 電源 : DC24V±10% 4A 真空 : -53kPa以上 | ||
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