可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能。高剛性、高負荷対応によりウエハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。
シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。
真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10-6Paとなります。
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