アーム第3関節換算の可搬重量4kgf、許容曲げモーメント6.0N・m(チャック・ワーク含む)まで搭載可能です。450mmウエハ、小型ガラス基板などロボットへの負荷の大きいワークの搬送が可能です。設計の自由度が高く、装置レイアウトに合わせた最適のリストブロック、チャックを取り付ける事ができます。
全軸にACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化制御を行う事によりウエハを高速、高精度で搬送。300mmウエハであれば走行軸無しで、高速での3FOUPアクセスが可能です。
| 搬送物 | 〜450mmウエハ、小型ガラス基板 | ||
|---|---|---|---|
| 動作範囲 | ワーク中心距離 | 旋回角度(θ軸) | 上下ストローク(Z軸) |
| 1003mm | 335° | 420mm | |
| 搬送速度(平均速度) | アーム | 旋回角度(θ軸) | 上下ストローク(Z軸) |
| 640mm/sec | 260°/sec | 300mm/sec | |
| 搬送速度(最大速度) | アーム | 旋回角度(θ) | 上下ストローク(Z軸) |
| 900mm/sec | 350°/sec | 450mm/sec | |
| 繰り返し精度 | ±0.1mm以内 | ||
| ワーク保持方式 | 吸着による保持 | ||
| クリーン度 | ISO Class2 (ISO14644) | ||
| フットプリント | 320mm×350mm | ||
| 重量 | 約60kgf | ||
| ユーティリティ | 電源 : 単相AC200V±10% 20A 真空 : -53kPa以上 | ||
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