φ200㎜SMIF POD対応システム SSY

SMIFオープナで、PODの開閉が可能。
5軸水平多関節クリーン搬送ロボットを搭載し、3Portまで対応可能。

TAIKO™、薄物ウェーハ搬送ロボット STCR

保持方法の選択性向上。多様なワーク搬送に対応可能。
大流量、多配線化、剛性UPにより、大流量型ベルヌーイ、各種センサ搭載等に対応。

※TAIKO™は、株式会社ディスコ（DISCO Corporation）の商標または登録商標です。

ウェーハアライメント対応真空搬送ロボット STVCR

外付けのアライメントセンサにより、ウェーハを中心位置補正した状態で搬送可能。
ツインアーム採用により、ワーク交換時間の短縮。