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10：ワークサーチ実行後、ワークサーチ結果を読出します。

ワークサーチ結果の読出しはシリアル通信で行ないます。コマンドは

でワークサーチ結果を読み出します。

この操作ではワークサーチ結果の読み出しを行ないます。

コントローラからの応答は以下のようになります。

応答

～

戻値　サーチ結果

３：カセット段数の設定(WFC設定)分読み出しを行い以下の状態を表示します

　　０：ウェハ無し

　　１：ウェハ有り

　　Ｗ：厚み異常

　　Ｅ：斜め

　　＊　仕様により状態表示内容は異なります。取扱説明書を参照。

例：ロボット＄１、カセット25段、全てにワークあり、斜め置きや厚み異常が無い場合の出力は

＞＄11，1，1，1，1，1，1，1，1，1，1，1，1，1，1，1，1，１，１，１，１，１，１，１，１

となります。