半導体搬送ロボット

GCR4210(チャック部旋回機能付き)4軸水平多関節型クリーンロボット

  • GCR4210-300-AM

環境と仕様

製品概要

モデル名
GCR4210
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム(ツインチャック)
到達距離
400 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
300 mm
可搬重量
4 kgf (第3関節換算)

製品動画

画像及び動画はGCR4210-300-AM(チャック部旋回機能付き)です

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
GCR4210-300-AM300 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット。アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
チャック部に旋回機能を追加することにより、シングルアームで2枚のチャックを配置してのワークの入れ替え動作を、カセット又はステージ近くで行うことができます。
これにより、ロボット中心までアームが戻る必要がないため、タクトタイムの短縮が可能です。

  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
  • 2相パルスモータ仕様も選択可能

標準仕様

本仕様はGCR4210-300-AM(チャック部旋回機能付き)の代表的な仕様です
ロボット仕様
ロボット型式GCR4210-300-AM
被搬送物〜300 mmシリコンウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型
制御軸4軸
モータタイプACサーボモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:640 mm
旋回角度(θ軸):335度
上下ストローク(Z軸):300 mm
リストブロック旋回角度:±180度
搬送速度アーム(R軸):430 mm/0.8 sec
旋回角度(θ軸):335度/1.0 sec
上下ストローク(Z軸):300 mm/0.9 sec
分解能第1関節軸:0.0015度
第2関節軸:0.0018度
第3関節軸:0.0018度
Z軸:1.96 µm
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2以下(ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:単相 AC200V±10% 2 kVA
真空:-53 kPa以上
質量ロボット本体 約 37 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • WJ0327