半導体搬送ロボット

GCR4210(ステッピングモータ仕様)4軸水平多関節型クリーンロボット

  • GCR4000-PM

環境と仕様

製品概要

モデル名
GCR4210
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
400 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
300 mm
可搬重量
3.0 kgf (第3関節換算)

製品動画

動画はGCR4210-300-PMです

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
GCR4210-300-PM 300 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット。
300 mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

  • ロボットのみで2FOUP対応可能
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸アブソリュートエンコーダ付2相パルスモータ使用
  • S字加減速制御及び動作軌跡最適化によりウェーハを高速、高精度で搬送
    オフセット動作では従来機GHR4000タイプと比較して1.4倍
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様は当社標準チャック(吸着タイプ)装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式GCR4210-300-PM
被搬送物〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型
制御軸4軸
モータタイプステッピングモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:760 mm
旋回角度(θ軸):335度
上下ストローク(Z軸):300 mm
搬送速度アーム(R軸):730 mm/1.0sec
旋回角度(θ軸):240度/1.0 sec
上下ストローク(Z軸):200 mm/1.0 sec
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2以下(ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:DC24V±10% 15A
真空:-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量ロボット本体 約26kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C4451シリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • GCR4210_PM

オプション

リストブロックユニット
型式 リストブロック長 マッピングセンサ 取付チャック厚
SARS00169 38 mm なし 2 mm
SARS00958 38 mm なし 3 mm
SARS02659 75 mm なし 2 mm
SARS02967 75 mm なし 3 mm
SARS08603 80 mm 透過センサ/反射型センサ 2 mm

※上記は当社標準リストブロックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のリストブロックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

チャックユニット
型式 披搬送サイズ チャック形状(チャック厚) 保持方式
SC-IW-200 3'',100 mm〜200 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-IW-240 3'',100 mm〜300 mm I 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-200 100 mm〜200 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-227 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC-YW-240 100 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
3D-02229 150 mm〜300 mm Y 型(2 mm) 吸着保持
SC3-YW-240 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
3D-01661 300 mm Y 型(3 mm) 吸着保持
SC3-IW-240 300 mm I 型(3 mm) 吸着保持

※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

到達距離
チャック/リストブロック SARS00169 SARS02659 SARS08603 SARS00958 SARS02967
SC-IW-200 562.7 mm 625 mm 630 mm - -
SC-IW-240 602.7 mm 665 mm 670 mm - -
SC-YW-200 572.7 mm 635 mm 640 mm - -
SC-YW-227 599.7 mm 662 mm 667 mm - -
SC-YW-240 612.7 mm 675 mm 680 mm - -
3D-02229 612.7 mm 675 mm 680 mm - -
SC3-YW-240 - - - 612.7 mm 675 mm
3D-01661 - - - 612.7 mm 675 mm
SC3-IW-240 - - - 602.7 mm 665 mm
※表記の到達距離はリストブロックユニット及びチャックの組み合わせによる一例です。上記以外にも設定可能です。
その他のオプション