半導体搬送ロボット

MCR3200C3軸円筒座標型クリーンロボット

  • MCR3160C

環境と仕様

製品概要

モデル名
MCR3200C
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
昇降距離
300 mm / 400 mm / 500 mm

製品動画

画像はMCR3160C-300-AMです

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
MCR3200C-300-AM 300 mm
MCR3200C-400-AM 400 mm
MCR3200C-500-AM 500 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用300 mm対応MCR3000Cシリーズ。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。
全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。
従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

  • アームバリエーション:160 mm, 200 mm
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

仕様につきましてはお問合せ下さい。

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 外観図(標準仕様)

  • MCR3200C-300-AM

オプション

チャックユニット

※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

その他のオプション