半導体搬送ロボット

MTCR4160L (5枚一括可変チャック搭載仕様)4軸円筒座標型クリーンロボット

  • MTCR4160L (5枚一括可変チャック搭載仕様)

環境と仕様

製品概要

モデル名
MTCR4160L
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
ツインアーム
到達距離
710 mm (ワーク中心距離)
昇降距離
700 mm

製品動画

画像、動画はMTCR4160L-700-AM (5枚一括可変チャック搭載仕様)です

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
MTCR4160L-700-AM700 mm

製品特徴

縦型炉などのピッチの異なるカセットに対する高速搬送を実現しました。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

  • パスラインの低い装置、昇降軸の長い装置に最適
  • コラムタイプ駆動部によりロボット旋回角度が±160度となりレイアウトの自由度が上昇
  • チャックのピッチを5 mm〜10 mmの範囲で自由に設定可能

標準仕様

本仕様はMTCR4160L-700-AMの仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。

(※1)ウェーハ保持方式を落とし込みによるラフガイドとしたときの仕様となります。
他に吸着による保持方式もありますので仕様につきましてはお問い合わせください。
ロボット仕様
ロボット型式MTCR4160L-700-AM
被搬送物300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式
機械構造形式円筒座標型
制御軸4軸
モータタイプ全軸ACサーボモータ
動作範囲(※1)アーム(R軸):710 mm
旋回角度(θ軸):±160度
上下ストローク(Z軸):700 mm
搬送速度(平均)(※1)アーム(R軸):415 mm/sec
旋回角度(θ軸):135度/sec
上下ストローク(Z軸):350 mm/sec
搬送速度(最高)(※1)アーム(R軸):830 mm/sec
旋回角度(θ軸):190度/sec
上下ストローク(Z軸):500 mm/sec
分解能アーム(R軸):6.55µm以下
旋回角度(θ軸):0.00082度
上下ストローク(Z軸):4.89µm
搬送レベル676 mm(最下段)
繰り返し精度±0.1 mm
クリーン度ISOクラス2(ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:単相AC200V±10%
質量ロボット本体 約180 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • MTCR4160L (5枚一括可変チャック搭載仕様)