半導体搬送ロボット

MTCR4160 (テープフレーム搬送)4軸円筒座標型クリーンロボット

  • MTCR4160-clip

環境と仕様

製品概要

モデル名
MTCR4160
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
ツインアーム
到達距離
315 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
300 mm
可搬重量
5 kgf以下 (第3関節換算)

製品動画

画像及び動画はMTCR4160-300-AM(テープフレーム搬送)です

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
MTCR4160-300-AM300 mm

製品特徴

テープフレームを高精度に搬送します。
テープフレームを根元でクリップすることでカセット内でも接触せず、更に 通常ピッチ のテープフレームカセットへのランダムアクセス搬送が可能です。
300 mmまでの各種サイズのテープフレームに対応可能です。
MECHATROLINK-IIIを採用し、動作状態の「見える化」を実現します。

  • アームバリエーション: 160 mm、200 mm、240 mm、280 mm
  • ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮ができ、タクトタイムの向上が可能
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • オプションにて搬送中のテープフレームの有無確認センサの取付可能
  • オプションにて衝突時にセンサによる動力遮断で衝撃緩和させるショックセンサ取付可能

標準仕様

本仕様(※)はMTCR4160-300-AM(200 mm〜300 mm用テープフレーム)搬送時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式MTCR4160-300-AM
被搬送物200 mm〜300 mmウェーハ (200 mm〜300 mm用テープフレームへ対応)(その他のサイズも対応可能)
ウェーハ保持方式エアシリンダ駆動によるクリップ機構で保持
機械構造形式円筒座標型
制御軸4軸
モータタイプ全軸ACサーボモータ
動作範囲(※)ワーク中心到達距離:585 mm
旋回角度(θ軸):340度
上下ストローク(Z軸):300 mm
搬送速度(※)アーム(R軸):360 mm/sec
旋回角度(θ軸):140度/sec
上下ストローク(Z軸):180 mm/sec
分解能(※)アーム(R軸):10.0 µm以下
旋回角度(θ軸):0.0015度
上下ストローク(Z軸):1.96 µm
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2以下 (ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:AC200V±10% 3 kVA
(チャック用)正圧:0.5 MPa 10 NL/min以上
質量ロボット本体 約50 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • MTCR4160-300-AM(テープフレーム搬送)

オプション

その他のオプション