半導体搬送ロボット

MTCR4280(大口径ウェーハ搬送)4軸円筒座標型クリーンロボット

  • MTCR4160-300-AM

環境と仕様

製品概要

モデル名
MTCR4280
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
ツインアーム
到達距離
545 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
420 mm

製品動画

画像、動画はMTCR4160-300-AM(〜300 mm搬送用)です

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
MTCR4280-420-AM420 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用大口径ウェーハ対応MTCRシリーズ。
EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。
全軸ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。
従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。
CEマーキング認証取得しました。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

  • ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮ができ、タクトタイムの向上が可能
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着, 落し込み, エッジグリップチャック
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様は当社吸着チャック(450mmウェーハ対応)搭載時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式MTCR4280-420-AM
被搬送物〜450 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
機械構造形式円筒座標型
制御軸4軸
モータタイプ全軸ACサーボモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:995 mm
旋回角度(θ軸):340度
上下ストローク(Z軸):420 mm
搬送速度アーム(R軸):540 mm/sec
旋回角度(θ軸):170度/sec
上下ストローク(Z軸):200 mm/sec
分解能アーム(R軸):11.5µm以下
旋回角度(θ軸):0.0013度
上下ストローク(Z軸):1.96µm
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2以下 (ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:AC200V 真空:-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • MTCR4280-420-AM

オプション

チャックユニット

※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

その他のオプション