SEMICON JAPAN 2021 HYBRID ジェーイーエル 特設ページ
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GTFR5280（300 mmウェーハ対応）5軸水平多関節型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- GTFR5280
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 553 mm (第3関節中心到達距離)
- 昇降距離
- 320 mm
- 可搬質量
- 4 kg (第3関節換算)
製品動画
製品型式一覧
| GTFR5280-320-DM | 320 mm |
|---|
製品特徴
300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。
ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。
300 mm対応の半導体製造装置内、EFEMのウェーハ搬送に適しています。
弊社従来製品のGTCRと比べて動作禁止エリア、速度制限の影響を減らしサイクルタイム向上。
- ロボットのみで3FOUP対応可能
- ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用（バッテリレス）
- ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックで対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | GTFR5280-320-DM |
| 被搬送物 | 〜300 mmウェーハ |
| ウェーハ保持方式 | チャックによる真空吸着で保持 |
| 機械構造形式 | 水平多関節型 |
| 制御軸 | 5軸 |
| モータタイプ | 全軸ACサーボモータ（バッテリレス） |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：893 mm 上下ストローク(Z軸)：320 mm |
| 搬送速度（平均） | アーム(R軸)：900 mm/sec（円筒動作時） 上下ストローク(Z軸)：320 mm/sec |
| 搬送速度（最高） | アーム(R軸)：1500 mm/sec（円筒動作時） 上下ストローク(Z軸)：540 mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.05 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス1 |
| ユーティリティ | 電源：単相AC200V±10% 2 kVA 真空：-75 kPa以上(吸着チャック取付の場合) |
| 質量 | ロボット本体 約80 kg |
オプション
チャックユニット
| 型式 | 披搬送サイズ | チャック形状(チャック厚) | 保持方式 |
|---|---|---|---|
| SC-IW-200 | 3'',100 mm〜200 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-IW-240 | 3'',100 mm〜300 mm | I 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-200 | 100 mm〜200 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-227 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC-YW-240 | 100 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| 3D-02229 | 150 mm〜300 mm | Y 型(2 mm) | 吸着保持 |
| SC3-YW-240 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| 3D-01661 | 300 mm | Y 型(3 mm) | 吸着保持 |
| SC3-IW-240 | 300 mm | I 型(3 mm) | 吸着保持 |
※上記は当社標準チャックユニットの仕様です。表にない仕様にも対応可能です。
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
その他のオプション
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