SEMICON JAPAN 2021 HYBRID ジェーイーエル 特設ページ
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KHR3480（300 mmウェーハ 25枚一括搬送）直動アーム型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- KHR3480
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- ストローク
- 480 mm
- 昇降距離
- 290 mm
- 搬送物
- 300 mm シリコンウェーハ 25枚
製品動画
製品型式一覧
| KHR3480-290-AM | 290 mm |
|---|
製品特徴
25枚のウェーハを一括して移し替え可能。
一括搬送の為、移し替え時間の大幅短縮可能。
旋回軸搭載により、複数カセットのレイアウト対応可能。
- チャック材質：セラミックス
- ウェーハ保持：落とし込み、エッジ整列
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用（バッテリレス）
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | KHR3480-290-AM |
| 被搬送物 | 300 mmウェーハ |
| ウェーハ保持方式 | 落とし込み、エッジ整列 |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 3軸 |
| モータタイプ | 全軸ACサーボモータ |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：720 mm 旋回角度(θ軸)：±320度 上下ストローク(Z軸)：290 mm |
| 搬送速度(平均) | アーム(R軸)：240 mm/sec 旋回角度(θ軸)：72度/sec 上下ストローク(Z軸)：100 mm/sec |
| 搬送レベル | 650 mm |
| 繰り返し精度 | ±0.2 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス5相当（ISO14644）（駆動部排気時） |
| ユーティリティ | 電源：3相200V±10% 2kVA 真空：-70kPa 90L/min（集塵） |
| 質量 | ロボット本体 約150 kg |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C6000シリーズ |
| インタフェース | RS232C |
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