ウェーハチャック



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吸着チャック

吸着チャック

I型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ200mm以下の搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。 ...
SC-IW-200 56,100円

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吸着チャック

吸着チャック

I型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ300mm以下の搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。 ...
SC-IW-240 58,300円

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吸着チャック

吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。 仕様...
3D-01661 104,500円

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吸着チャック

吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。 ウェーハサイズ150mm、200mm、300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および...
3D-02229 99,000円

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