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Q: 付属CDのプログラム、アラインチェック「Alignchk」で出力されたエクセルデータの見方を教えてください。

アラインチェック「Alignchk」の使用方法は付属CDをご参照ください。

A:

Sheet 1:長さサンプルデータ

アライナがアライメント動作(スピンドル回転動作)を行なった時に、ソフトウェアが取り込んだウェーハの外周データです。
正常に取り込めている場合は正弦波形に近いデータになります。

縦軸:
センサのウェーハの外周を検出した光量
横軸:
スピンドルの回転量

Sheet 2:角度サンプルデータ

アライメント時にスピンドルが安定して回転しているかを確認するためのデータです。
正比例グラフになることが理想です。

縦軸:
時間
横軸:
スピンドルの回転量

Sheet 3:タイミング信号

スピンドルの回転数をトリガーにスピンドルの回転量をソフトウェアに取り込んでいます。
その割込み信号がもれなくサンプリングできているかどうかの確認ができます。

縦軸:
時間
横軸:
スピンドルの回転量

Sheet 4:ノッチ信号

ノッチの有無を確認します。(アライナの機種によってはデータ収集しません。)

Sheet 5:補正データ

センサの固体誤差を補正するデータです。

Sheet 6:Aデータ

アライナの各種設定と測定結果のデータです。
(対象ワークの設定・各ワークの開始位置設定・判定閾値・結果ステータスなど)

Sheet 7:データA(長さ)・データB(角度)

Sheet 1で取得したデータを整形したデータです。

Sheet 8:データC(微分)

Sheet 7のデータを微分し、ノッチ、オリフラの形状判断するデータです。

Sheet 9:データD(微分2)

Sheet 8のデータをさらに微分し、外周形状からセンタリングするデータです。
赤い閾値以下のデータをセンタリング計算用のデータとします。

Sheet 10:データE(長さの差分)

Sheet 7のデータから算出した理想曲線を引いたデータです。
これにより、ノッチ、オリフラの位置を算出します。

Sheet 11:データF(角度の差分)

これより、ノッチ、オリフラの角度を判断します。