アラインチェック「Alignchk」の使用方法は付属CDをご参照ください。
アライナがアライメント動作(スピンドル回転動作)を行なった時に、ソフトウェアが取り込んだウェーハの外周データです。
正常に取り込めている場合は正弦波形に近いデータになります。
アライメント時にスピンドルが安定して回転しているかを確認するためのデータです。
正比例グラフになることが理想です。
スピンドルの回転数をトリガーにスピンドルの回転量をソフトウェアに取り込んでいます。
その割込み信号がもれなくサンプリングできているかどうかの確認ができます。
ノッチの有無を確認します。（アライナの機種によってはデータ収集しません。）
センサの固体誤差を補正するデータです。
アライナの各種設定と測定結果のデータです。
（対象ワークの設定・各ワークの開始位置設定・判定閾値・結果ステータスなど）
Sheet 1で取得したデータを整形したデータです。
Sheet 7のデータを微分し、ノッチ、オリフラの形状判断するデータです。
Sheet 8のデータをさらに微分し、外周形状からセンタリングするデータです。
赤い閾値以下のデータをセンタリング計算用のデータとします。
Sheet 7のデータから算出した理想曲線を引いたデータです。
これにより、ノッチ、オリフラの位置を算出します。
これより、ノッチ、オリフラの角度を判断します。