テープフレーム搬送
アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版
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プロトスキャリア対応自動移載システム
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを搭載したロボット。

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