製品情報

ジェーイーエル半導体ロボット比較表

左右フリックでスクロールします。
下記掲載ロボットは当社システムの一例です。

本体
サイズ
小型 中型 大型
シリーズ SCR/STCR GCR MCR/MTCR GCR/GTCR
画像 STCR(クローズドループ) GCR(ステッピング) MTCR(サーボ) GTCR(サーボ)
モータ ステッピング/
ステッピングモータクローズドループ仕様
ステッピング サーボ サーボ
搬送物
サイズ
〜300 mm 〜300 mm 〜300 mm 〜300 mm
搬送
形態
円筒座標型 水平多関節 円筒座標型 水平多関節

※各種仕様ワークサイズはお問い合わせ下さい

ジェーイーエルシステム比較表

左右フリックでスクロールします。
下記掲載システムは当社システムの一例です。

本体
サイズ
小型 大型
シリーズ SSY-10000(100 mm) プロトスキャリア対応自動移載システム SSY-10020 SORTER SYSTEM
画像 SSY-10000(100 mm)
※写真は一例です
SSY-11010
※写真は一例です
SSY-10020
※写真は一例です
SORTER SYSTEM
※写真は一例です
特徴・用途 卓上の顕微鏡や検査装置の半自動化 プロトスキャリア内の薄物ウェーハ搬送 サセプタ・トレイへのウェーハの自動供給/回収 FOUPカセットからウェーハ取出し/振分け
搬送物
サイズ
〜100 mm (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) 200 mm/300 mm シリコンウェーハ, プロトススペーサ(層間紙) 100 mmウェーハ, 330 mmサセプタ・トレイ 150 mm/300 mm

※各種仕様ワークサイズはお問い合わせ下さい