各種サポートソフト

ジェーイーエルのサポートソフトは下記の通りです。
通信ソフトの JELDATA3 は下記のリンクからユーザ登録の上、ダウンロードすることができます。
アライメント調整ソフトの JELアラインツール はアライナSAL3000HVシリーズに付属します。対象機種及び対応OS等については、以下よりご確認ください。

ソフト一覧

ジェーイーエル製品共通:通信ソフト「JELDATA3」

対応OS

アライナ専用:アライメント調整ソフト「JELアラインツール」

対象機種:SAL3000HVシリーズ
  • SAL3262HV(2インチ〜150 mmウェーハ対応)
  • SAL3482HV(100〜200 mmウェーハ対応)
  • SAL38C3HV(200〜300 mmウェーハ対応)
 
対応OS
  • Windows 7(32/64 bit)
  • Windows 8.1(64 bit)
  • Windows 10(32/64 bit)
  • Windows Embedded(32 bit)