ジェーイーエルのサポートソフトは下記の通りです。
通信ソフトの JELDATA3 は下記のリンクからユーザ登録の上、ダウンロードすることができます。
アライメント調整ソフトの JELアラインツール はアライナSAL3000HVシリーズに付属します。対象機種及び対応OS等については、以下よりご確認ください。

ソフト一覧

ジェーイーエル製品共通：通信ソフト「JELDATA3」

対応OS

• Windows XP（32 bit）
• Windows 7（32/64 bit）
• Windows 8.1（64 bit）
• Windows 10（32/64 bit）
• Windows Embedded（32/64 bit）
• ダウンロードはこちら（ログインが必要となります。 新規の方はこちら）

アライナ専用：アライメント調整ソフト「JELアラインツール」

対象機種：SAL3000HVシリーズ

• SAL3262HV（2インチ〜150 mmウェーハ対応）
• SAL3482HV（100〜200 mmウェーハ対応）
• SAL38C3HV（200〜300 mmウェーハ対応）

　

対応OS

• Windows 7（32/64 bit）
• Windows 8.1（64 bit）
• Windows 10（32/64 bit）
• Windows Embedded（32 bit）
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