薄物ウェーハなどをベルヌーイ（※）保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。
吸着保持ではないため、ウェーハ破損リスクを最小限にできます。
先端部がフレキシブルに動き、平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能です。
又、ウェーハのみならず、様々な特殊ワークに対応が可能です。
| 被搬送物 | 2, 3インチ, 100〜150 mm (※200 mm, 300 mm用も別途対応可) |
|---|---|
| 材質 | アルミニウム（先端部） |
| 表面処理 | サイクロンパッド：黒アルマイト その他先端部：白アルマイト |
| ウェーハ保持方式 | サイクロンパッドによる吸引とフッ素ゴムによる保持 |
| 許容搬送質量 | 50 g以下 |
| 使用流体 | クリーンエア、N2 |
| 供給圧力 | 0.3 MPa以下(本体接続部にて） |
| エア流量 | 最大15L/min |
| 質量 | 110 g |
その他の詳細仕様につきましてはお問い合わせ下さい。
平置き、ウェーハケースに適した先端ユニットが短いタイプのBRP-01と、横置きカセットに適した先端ユニットが長いタイプのBRP-02の2種類があります。
