ベルヌーイピンセット

  • 半導体デバイスなどの生産工程(前工程)や半導体ウェーハ生産工場で、ウェーハケースやウェーハカセットから、薄いウェーハの取り出しや収納などを、マニュアルで行うための機器です。
  • ベルヌーイピンセット

環境と仕様

製品概要

製品名
ベルヌーイピンセット
被搬送サイズ
2, 3インチ, 100〜150 mm(※)
※200 mm, 300 mm用も別途対応可
詳細はお問合せください

製品動画

製品特徴

薄物ウェーハなどをベルヌーイ(※)保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。
吸着保持ではないため、ウェーハ破損リスクを最小限にできます。
先端部がフレキシブルに動き、平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能です。
又、ウェーハのみならず、様々な特殊ワークに対応が可能です。

  • サイクロン効果によりワークを吸着せずに保持可能
  • ワークとの接触はパッド(材質:フッ素ゴム)により行い、保持時のワーク衝撃緩和、又保持ガイド不要
  • フレキシブルチューブの採用により、作業者の任意の角度に調整可能

※  ベルヌーイチャックの仕組みについての詳細はこちら

標準仕様

被搬送物2, 3インチ, 100〜150 mm (※200 mm, 300 mm用も別途対応可)
材質アルミニウム(先端部)
表面処理サイクロンパッド:黒アルマイト その他先端部:白アルマイト
ウェーハ保持方式サイクロンパッドによる吸引とフッ素ゴムによる保持
許容搬送質量50 g以下
使用流体クリーンエア、N2
供給圧力0.3 MPa以下(本体接続部にて)
エア流量最大15L/min
質量110 g
  • リリーススイッチの摺動部への油脂不使用
  • サイクロンパッド 標準配置数量:1個
  • パッド(材質:フッ素ゴム)による接触保持
  • 取付ブラケット  120度タイプ(標準出荷形状)、90度タイプ(付属)

その他の詳細仕様につきましてはお問い合わせ下さい

圧力-保持力関係図(図:上)とフレキシブルチューブ動作範囲(図:下)

  • 圧力-保持力関係図
  • フレキシブルチューブ動作範囲

形式

平置き、ウェーハケースに適した先端ユニットが短いタイプのBRP-01と、横置きカセットに適した先端ユニットが長いタイプのBRP-02の2種類があります。

ベルヌーイピンセット BRP-01(先端ユニット短)

  • BRP-01(先端ユニット短)

ベルヌーイピンセット BRP-02(先端ユニット長)

  • BRP-02(先端ユニット長)

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