ベルヌーイピンセット
- 半導体デバイスなどの生産工程(前工程)や半導体ウェーハ生産工場で、ウェーハケースやウェーハカセットから、薄いウェーハの取り出しや収納などを、マニュアルで行うための機器です。
環境と仕様
製品概要
- 製品名
- ベルヌーイピンセット
- 被搬送サイズ
- 2, 3インチ, 100〜150 mm(※)
※200 mm, 300 mm用も別途対応可
詳細はお問合せください
製品特徴
薄物ウェーハなどをベルヌーイ(※)保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。
吸着保持ではないため、ウェーハ破損リスクを最小限にできます。
先端部がフレキシブルに動き、平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能です。
又、ウェーハのみならず、様々な特殊ワークに対応が可能です。
- サイクロン効果によりワークを吸着せずに保持可能
- ワークとの接触はパッド(材質:フッ素ゴム)により行い、保持時のワーク衝撃緩和、又保持ガイド不要
- フレキシブルチューブの採用により、作業者の任意の角度に調整可能
※ ベルヌーイチャックの仕組みについての詳細はこちら
標準仕様
被搬送物 | 2, 3インチ, 100〜150 mm (※200 mm, 300 mm用も別途対応可) |
材質 | アルミニウム(先端部) |
表面処理 | サイクロンパッド:黒アルマイト その他先端部:白アルマイト |
ウェーハ保持方式 | サイクロンパッドによる吸引とフッ素ゴムによる保持 |
許容搬送質量 | 50 g以下 |
使用流体 | クリーンエア、N2 |
供給圧力 | 0.3 MPa以下(本体接続部にて) |
エア流量 | 最大15L/min |
質量 | 110 g |
- リリーススイッチの摺動部への油脂不使用
- サイクロンパッド 標準配置数量:1個
- パッド(材質:フッ素ゴム)による接触保持
- 取付ブラケット 120度タイプ(標準出荷形状)、90度タイプ(付属)
その他の詳細仕様につきましてはお問い合わせ下さい。
圧力-保持力関係図(図:上)とフレキシブルチューブ動作範囲(図:下)
形式
平置き、ウェーハケースに適した先端ユニットが短いタイプのBRP-01と、横置きカセットに適した先端ユニットが長いタイプのBRP-02の2種類があります。
ベルヌーイピンセット BRP-01(先端ユニット短)
ベルヌーイピンセット BRP-02(先端ユニット長)