ベルヌーイピンセット
- 半導体デバイスなどの生産工程（前工程）や半導体ウェーハ生産工場で、ウェーハケースやウェーハカセットから、薄いウェーハの取り出しや収納などを、マニュアルで行うための機器です。
環境と仕様
製品概要
- 製品名
- ベルヌーイピンセット
- 被搬送サイズ
- 2, 3インチ, 100〜150 mm（※）
※200 mm, 300 mm用も別途対応可
詳細はお問合せください
製品特徴
薄物ウェーハなどをベルヌーイ（※）保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。
吸着保持ではないため、ウェーハ破損リスクを最小限にできます。
先端部がフレキシブルに動き、平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能です。
又、ウェーハのみならず、様々な特殊ワークに対応が可能です。
- サイクロン効果によりワークを吸着せずに保持可能
- ワークとの接触はパッド（材質：フッ素ゴム）により行い、保持時のワーク衝撃緩和、又保持ガイド不要
- フレキシブルチューブの採用により、作業者の任意の角度に調整可能
※ ベルヌーイチャックの仕組みについての詳細はこちら
標準仕様
| 被搬送物 | 2, 3インチ, 100〜150 mm (※200 mm, 300 mm用も別途対応可) |
|---|
| 材質 | アルミニウム（先端部） |
|---|
| 表面処理 | サイクロンパッド：黒アルマイト その他先端部：白アルマイト |
|---|
| ウェーハ保持方式 | サイクロンパッドによる吸引とフッ素ゴムによる保持 |
|---|
| 許容搬送質量 | 50 g以下 |
|---|
| 使用流体 | クリーンエア、N2 |
|---|
| 供給圧力 | 0.3 MPa以下(本体接続部にて） |
|---|
| エア流量 | 最大15L/min |
|---|
| 質量 | 110 g |
|---|
- リリーススイッチの摺動部への油脂不使用
- サイクロンパッド 標準配置数量：1個
- パッド（材質：フッ素ゴム）による接触保持
- 取付ブラケット 120度タイプ（標準出荷形状）、90度タイプ（付属）
その他の詳細仕様につきましてはお問い合わせ下さい。
圧力-保持力関係図（図：上）とフレキシブルチューブ動作範囲（図：下）
形式
平置き、ウェーハケースに適した先端ユニットが短いタイプのBRP-01と、横置きカセットに適した先端ユニットが長いタイプのBRP-02の2種類があります。
ベルヌーイピンセット BRP-01（先端ユニット短）
ベルヌーイピンセット BRP-02（先端ユニット長）
