技術情報

エッジグリップチャックの仕組み

製品特徴

エッジグリップチャックではワークの外周をチャックに取り付けられた複数の爪(タブ)で掴み(グリップ) ワークを固定します。
エッジグリップの駆動方式にはエアシリンダ方式、スプリング方式等があります。

処理面に触れることが許されないウェーハの搬送やMEMSウェーハなど真空吸着では吸着面にストレスがかかりダメージを受ける可能性のある薄いウェーハの搬送に利用されます。

対象機種

ホーム