製品情報

ジェーイーエル半導体ロボット比較表

左右フリックでスクロールします。
下記掲載ロボットは当社システムの一例です。

本体
サイズ
小型 中型 大型
シリーズ TSCR/SSCR SCR/STCR GCR MCR/MTCR GCR/GTCR
画像 TSCR STCR(クローズドループ) GCR(ステッピング) MTCR(サーボ) GTCR(サーボ)
モータ ステッピング ステッピング/
ステッピングモータクローズドループ仕様
ステッピング サーボ サーボ
搬送物
サイズ
2インチ/〜100 mm 〜300 mm 〜300 mm 〜300 mm 〜450 mm
スピード ★★ ★★★ ★★★
搬送
形態
円筒座標型 円筒座標型 水平多関節 円筒座標型 水平多関節

ジェーイーエルシステム比較表

左右フリックでスクロールします。
下記掲載システムは当社システムの一例です。

本体
サイズ
小型 大型
シリーズ SSY-10000(3インチ) SSY-10000(100 mm) SSY-11010 SSY-10020 SORTER SYSTEM
画像 SSY-10000(3インチ) SSY-10000(100 mm) SSY-11010 SSY-10020 SORTER SYSTEM※写真は一例です
特徴・用途 マニュアル装置に取付可能な卓上システム 卓上の顕微鏡や検査装置の半自動化 プロトスキャリア内の薄物ウェーハ搬送 サセプタ・トレイへのウェーハの自動供給/回収 FOUPカセットからウェーハ取出し/振分け
搬送物
サイズ
3インチ (LED) 〜100 mm (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) 150 mm, 200 mm シリコンウェーハ, プロトススペーサ(層間紙) 100 mmウェーハ, 330 mmサセプタ・トレイ 150 mm/300 mm