オプション
反転ユニット
製品動画
製品特徴
両面処理等が必要な装置に適しています。
- 小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現
- 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300 mmウェーハ比)
(小型ウェーハの場合速度50%upを実現) - 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現
- 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応
標準仕様
| 適応ウェーハ | 2, 3インチ, 100〜300 mmウェーハ (※450 mm用も別途提案可能です) |
|---|---|
| 動作範囲 | 190度 |
| 搬送速度(平均速度) | 180度/sec(300 mmウェーハ) |
| 搬送速度(最高速度) | 300度/sec(300 mmウェーハ) |
| ウェーハ保持方式 | 真空吸着による保持、エッジクリップ、ベルヌーイの各種対応可 |
| ユーティリティ | 電源 : DC24V(ロボット本体より供給) |