半導体搬送ロボット
GCR4280(大口径ウェーハ搬送)4軸水平多関節型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- GCR4280
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 553 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 300 mm / 420 mm
- 可搬質量
- 4 kg (第3関節換算)
製品動画
製品型式一覧
| GCR4280-300-AM | 300 mm |
|---|---|
| GCR4280-420-AM | 420 mm |
製品特徴
スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット。
大口径ウェーハ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。
EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して走行軸なしで搬送できます。
水平移動できる軸があり、各基板に対して搬送可能。
450 mmウェーハのEFEMの場合は2Port対応、300 mmの場合は3Port対応です。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- ロボットのみで3FOUP対応可(300 mmウェーハ), 2FOUP（450 mmウェーハ）対応
- 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
- ツインチャックの仕様も選択可
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ウェーハ保持：真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | GCR4280-300-AM |
| 被搬送物 | 〜450 mmウェーハ, 小型ガラス基板 |
| ウェーハ保持方式 | チャックによる真空吸着で保持 |
| 機械構造形式 | 水平多関節型 |
| 制御軸 | 4軸 |
| モータタイプ | 全軸ACサーボモータ |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：863 mm 旋回角度(θ軸)：335度 上下ストローク：(Z軸)300 mm |
| 搬送速度（平均） | アーム(R軸)：900 mm/sec 旋回角度(θ軸)：250度/sec 上下ストローク(Z軸)：300 mm/sec |
| 搬送速度（最大） | アーム(R軸)：1300 mm/sec 旋回角度(θ軸)：350度/sec 上下ストローク(Z軸)：450 mm/sec |
| 分解能 | アーム(R軸)：0.0018度 旋回角度(θ軸)：0.0015度 上下ストローク(Z軸)：1.96µm |
| 搬送レベル | 669 mm(ベース取付面よりチャックの搬送面まで) |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時） |
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V±10% 2 kVA 真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合) |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C5000Sシリーズ |
| インタフェース | RS232C, パラレルフォトI/O |
オプション
チャックユニット
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。