半導体搬送ロボット

GCR4280(大口径ウェーハ搬送)4軸水平多関節型クリーンロボット

  • GCR4280-300-AM_2

環境と仕様

製品概要

モデル名
GCR4280
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
553 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
300 mm / 420 mm
可搬重量
4 kgf (第3関節換算)

製品動画

動画はGCR4280-300-AM です

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
GCR4280-300-AM 300 mm
GCR4280-420-AM 420 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット。
大口径ウェーハ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。
EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して走行軸なしで搬送できます。
水平移動できる軸があり、各基板に対して搬送可能。
450 mmウェーハのEFEMの場合は2Port対応、300 mmの場合は3Port対応です。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

  • ロボットのみで3FOUP対応可(300 mmウェーハ), 2FOUP(450 mmウェーハ)対応
  • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
  • ツインチャックの仕様も選択可
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様は当社吸着チャック(300mmウェーハ対応)搭載時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式GCR4280-300-AM
被搬送物〜450 mmウェーハ, 小型ガラス基板
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型
制御軸4軸
モータタイプ全軸ACサーボモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:863 mm
旋回角度(θ軸):335度
上下ストローク:(Z軸)300 mm
搬送速度(平均)アーム(R軸):900 mm/sec
旋回角度(θ軸):250度/sec
上下ストローク(Z軸):300 mm/sec
搬送速度(最大)アーム(R軸):1300 mm/sec
旋回角度(θ軸):350度/sec
上下ストローク(Z軸):450 mm/sec
分解能アーム(R軸):0.0018度
旋回角度(θ軸):0.0015度
上下ストローク(Z軸):1.96µm
搬送レベル669 mm(ベース取付面よりチャックの搬送面まで)
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2以下(ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:単相 AC200V±10% 2 kVA
真空:-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • WJ0199A

オプション

チャックユニット

※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

その他のオプション