半導体搬送ロボット

GTVCR53305軸真空水平多関節型クリーンロボット

  • GTVCR5330

環境と仕様

製品概要

モデル名
GTVCR5330
設置環境
クリーンルーム内大気:温度 15℃〜40℃
プロセスチャンバ内温度: 最大450℃
アーム
シングルアーム
到達距離
635 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
60 mm
可搬質量
4 kg以下 (第3関節換算)

製品動画

画像, 動画はGTVCR5330-060-AMです(※画像及び動画は4枚チャックを使用しています)

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
GTVCR5330-060-AM60 mm

製品特徴

5軸真空水平多関節型クリーンロボット GTVCR5000シリーズ。
従来機GTVHR5000シリーズの性能、機能を維持したまま価格ダウンを実現。
真空環境下の並列配置されたチャンバーステージへ搬送することができます。
多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。
フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与します。
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。
レイアウトのインライン化に最適。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

  • アームバリエーション: 280 mm, 330 mm
  • アーム関節部には磁性流体シール使用
  • 真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
  • クリーン対応:アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
  • ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック、Oリングによる摩擦保持
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様はGTVCR5330-060-AMの代表的な仕様です。 被搬送物、チャック形状により異なります。
ロボット仕様
ロボット型式GTVCR5330-060-AM
被搬送物〜300 mmウェーハ
機械構造形式水平多関節型
制御軸5軸
モータタイプ全軸ACサーボモータ
動作範囲アーム第3関節中心:635 mm
旋回角度(θ軸):360度
上下ストローク(Z軸):60 mm
搬送速度(平均)アーム(R軸):640 mm/sec
旋回角度(θ軸):160度/sec
上下ストローク(Z軸):60 mm/sec
搬送速度(最高)アーム(R軸):950 mm/sec
旋回角度(θ軸):200度/sec
上下ストローク(Z軸):85 mm/sec
分解能第1関節軸(J1軸):0.00081度
第2関節軸(J2軸):0.00081度
第3関節軸(J3軸):0.00072度
第3関節軸(J5軸):0.00072度
Z軸(J4軸):0.98µm
搬送レベル219 mm(フランジ取付面より上チャックの搬送面まで)
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン対策磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度1×10-6Pa
ユーティリティ電源:単相AC200〜230V 2 kVA 50/60Hz
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • WJ0315