半導体搬送ロボット

JCR4400(モールド(PLP)基板アライメント機能付き)4軸水平多関節型クリーンロボット

  • JCR

環境と仕様

製品概要

モデル名
JCR4400
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
790 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
320 mm
可搬重量
5 kgf (第3関節換算)

製品動画

動画はJCR4400-320-AM(モールド(PLP)基板アライメント機能付き)です

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
JCR4400-320-AM320 mm

製品特徴

質量のあるモールド基板を高精度に搬送できる4軸水平多関節型クリーンロボットです(PLP=Panel Level Package工程向け新製品)。
チャック上にて基板アライメント(Y方向)、基板端面検出(X方向)を 同時に行い、ワークのセンタリング完了後に保持します。
これにより別途センタリング機構設置の必要がなく、タクトタイムの短縮が可能です。
更に水平多関節型のため、走行軸なしでのオフセット搬送が可能となります。

  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸ACサーボモータ使用

標準仕様

本仕様はJCR4400-320-AM(モールド基板アライメント機能付き)の代表的な仕様です
ロボット仕様
ロボット型式JCR4400-320-AM
被搬送物モールド基板 500 mm x 517 mm(5 kgf)
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型
制御軸4軸
モータタイプACサーボモータ
動作範囲ワーク中心到達距離:1230 mm
旋回角度(θ軸):335度
上下ストローク(Z軸):320 mm
搬送速度アーム(R軸):1140 mm/1.6 sec
旋回角度(θ軸):335度/1.5 sec
上下ストローク(Z軸):320 mm/1.1 sec
分解能第1関節軸(J1軸):3.15x10-7
第2関節軸(J2軸):1.78x10-7
第3関節軸(J3軸):2.14x10-7
Z軸(J4軸):3.97x10-7
繰り返し精度±0.2 mm以内
クリーン度ロボット本体:0.3 µm/cf クラス10(駆動部排気時)
ユーティリティ電源:単相 AC200V±10% 4.5 kVA
真空:-53 kPa以上
質量ロボット本体 約80 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • JCR4400-320-AM(モールド基板アライメント機能付き)外観図