半導体搬送ロボット

JVCR43304軸真空水平多関節型クリーンロボット

  • JVCR4330

環境と仕様

製品概要

モデル名
JVCR4330
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
1290 mm (ワーク中心到達距離)
昇降距離
60 mm
可搬質量
10 kg

製品動画

JVCR4330-060-AM

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
JVCR4330-060-AM 60 mm

製品特徴

マイクロLED用4軸真空水平多関節型クリーンロボット。

  • 平行配置のレイアウトへのアクセス可能
  • 可搬質量10kgに対応

標準仕様

本仕様はJVCR4330-060-AMの代表的な仕様です
ロボット仕様
ロボット型式 JVCR4330-060-AM
被搬送物 700 mm サセプタ(10 kg)
ウェーハ保持方式 Oリングによる摩擦保持
機械構造形式 水平多関節型
制御軸 4軸
モータタイプ ACサーボモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離:1290 mm
旋回角度(θ軸):360度
上下ストローク(Z軸):60 mm
搬送速度 アーム(R軸):640 mm/4.0 sec
旋回角度(θ軸):360度/5.0 sec
上下ストローク(Z軸):60 mm/2.0 sec
分解能 第1関節軸(J1軸):8.1x10-4
第2関節軸(J2軸):8.1x10-4
第3関節軸(J3軸):7.2x10-4
Z軸(J4軸):0.98 µm
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ロボット本体:0.1 µm/cf クラス1
ユーティリティ 電源:単相 AC200V±10% 4.0 kVA
質量 ロボット本体 約90 kg
コントローラ仕様
コントローラ型式 C5000Sシリーズ
インタフェース RS232C, パラレルフォトI/O

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 外観図(標準仕様)

  • JVCR4330-060-AM外観図