製品情報 | SAL20C1 (エッジグリップ仕様）

SAL20C1（エッジグリップ仕様）ウェーハ用アライナ

製品特徴

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。
エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能です。
※ノッチサーチ後、指定位置へノッチを移動する為、持ち直し動作が入っています。

標準仕様

ロボット仕様
被搬送物	300 mm シリコンウェーハ
位置決め時間	ノッチサーチ 2.5 sec (持ち直し無しの場合)
位置決め精度	センタリング：±0.3 mm以内ノッチロケート：±0.3度以内
センサ	透過式LEDセンサ
クリーン度	0.1 µm/cf クラス1（駆動部排気時）
駆動方式	2相ステッピングモータ2軸使用モータドライバ, コントローラ内蔵
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 2A

ロボット仕様

被搬送物

300 mm シリコンウェーハ

位置決め時間

ノッチサーチ 2.5 sec (持ち直し無しの場合)

位置決め精度

センタリング：±0.3 mm以内
ノッチロケート：±0.3度以内

センサ

透過式LEDセンサ

クリーン度

0.1 µm/cf クラス1（駆動部排気時）

駆動方式