カセット内のウェーハ状態が確認できます。
また、ソータシステム等での使用が可能です。

• SCRシリーズ用マッピングセンサ付リストブロックユニット
• 標準チャック（6種）を取り付け可能

※マッピングセンサはカセット内各段のワークの有無を検出するセンサです。
マッピングは別名でワークサーチとも呼ばれています。