オプション

SART08661マッピングセンサ付リストブロックユニット

  • SART08661

環境と仕様

製品概要

製品型式
SART08661
対象機種
STCRシリーズ

製品特徴

カセット内のウェーハ状態が確認できます。
また、ソータシステム等での使用が可能です。

  • STCRシリーズ用マッピングセンサ付リストブロックユニット
  • 標準チャック(6種)を取り付け可能

※マッピングセンサはカセット内各段のワークの有無を検出するセンサです。
マッピングは別名でワークサーチとも呼ばれています。

対応可能な標準チャック一覧

リンク先よりチャック外観図のダウンロードおよび製品をご購入頂けます。

標準仕様

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