オプション

SC-YW-200吸着チャック

  • SC-YW-200

環境と仕様

製品概要

製品型式
SC-YW-200
被搬送サイズ
100〜200 mm
被搬送物
主にシリコンウェーハなど

製品特徴

Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ200 mm以下の搬送に適しています。(ランダムアクセス対応)
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。

標準仕様

その他の詳細仕様につきましてはお問い合わせ下さい
被搬送物SEMI規格100 mm〜200 mm 主にシリコンウェーハなど
材質高純度アルミナセラミックス焼結体
表面処理導電性テフロンコーティング
ウェーハ保持方式真空吸着
全長200 mm
厚み2 mm

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • SC-YW-200