システム

SORTER SYSTEM (4ポートインラインタイプ 300枚/h)ソーターシステム

  • SORTER SYSTEM(300枚/h)インラインタイプ

環境と仕様

製品概要

製品型式
SORTER SYSTEM
設置環境
クリーンルーム内大気
被搬送サイズ
300 mm
被搬送物
シリコンウェーハ
詳細はお問合せください
スループット
300枚/h

製品動画

製品特徴

300 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。
振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。
振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。

  • SEMI Standardに準拠 (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にし、高スループットを実現 (300枚/h)
  • IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 (表裏対応はオプション)

標準仕様

本仕様は4ポートインラインタイプ(ロボット1台、スライダ1台)(スループット300枚/h)の標準仕様の一例です
対象キャリア300 mm FOUP(25枚) SEMI E47.1, E62準拠品
対象ウェーハ300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm
スループット300枚/h
クリーン度ISOクラス2(FFU搭載時)
外形寸法W 1250 x D 2500 x H 1900
質量約800 kg
ユーティリティ電源:単相 AC200V±10% 2 kVA
ドライエア:0.5MPa±10%
真空:-53 kPa以上

オプション

その他のオプション

※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。