SSCR3090S-150-PM | 150 mm |
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スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSSCR3090Sシリーズ。
小フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小型ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
ロボット仕様 | |
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ロボット型式 | SSCR3090S-PM |
リストブロック | SSARS07846 |
チャック | 3D-08156 |
被搬送物 | ~100 mmウェーハ |
ウェーハ保持方式 | チャックによる真空吸着 |
機械構造形式 | 円筒座標型 |
制御軸 | 3軸 |
モータタイプ | 全軸ステッピングモータ |
動作範囲 | ワーク中心到達距離:300 mm(リンクアーム仕様) 旋回角度(θ軸):370度 上下ストローク(Z軸):150 mm |
搬送速度(平均) | アーム(R軸):220 mm/sec 旋回角度(θ軸):180 度/sec 上下ストローク(Z軸):120 mm/sec |
搬送速度(最高) | アーム(R軸):330 mm/sec 旋回角度(θ軸):280度/sec 上下ストローク(Z軸):160 mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
クリーン度 | ISOクラス2(駆動部排気時) |
ユーティリティ | 電流電圧:DC24V±10% 4A 真空:-53 kPa以上 |
コントローラ仕様 | |
コントローラ型式 | C4301シリーズ |
インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O |