半導体搬送ロボット

SSCR3090S(小径ウェーハ用)3軸円筒座標型クリーンロボット

  • SSCR3090S-PM

環境と仕様

製品概要

モデル名
SSCR3090S
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
175 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
150 mm
可搬質量
0.1 kg以下(ワークのみ) (第3関節換算)

製品動画

動画はSSCR3090S, SAL2241です

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
SSCR3090S-150-PM 150 mm

製品特徴

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSSCR3090Sシリーズ。
小フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小型ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

  • アームバリエーション:90 mm
  • SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸2相ステッピングモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落し込み
  • チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様は当社標準チャック(吸着タイプ)装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式 SSCR3090S-PM
リストブロック SSARS07846
チャック 3D-08156
被搬送物 ~100 mmウェーハ
ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ 全軸ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離:300 mm(リンクアーム仕様)
旋回角度(θ軸):370度
上下ストローク(Z軸):150 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸):220 mm/sec
旋回角度(θ軸):180 度/sec
上下ストローク(Z軸):120 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸):330 mm/sec
旋回角度(θ軸):280度/sec
上下ストローク(Z軸):160 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時)
ユーティリティ 電流電圧:DC24V±10% 4A
真空:-53 kPa以上
コントローラ仕様
コントローラ型式 C4301シリーズ
インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • SSCR3090S-150-PM

オプション

チャックユニット
その他のオプション
ホーム