半導体搬送ロボット
SSCR3090S（小径ウェーハ用）3軸円筒座標型クリーンロボット
環境と仕様
製品概要
- モデル名
- SSCR3090S
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- アーム
- シングルアーム
- 到達距離
- 175 mm (第3関節中心距離)
- 昇降距離
- 150 mm
- 可搬質量
- 0.1 kg以下(ワークのみ) (第3関節換算)
製品型式一覧
| 型式と昇降距離（mm） | |
|---|---|
| SSCR3090S-150-PM | 150 mm |
製品動画
※動画はSSCR3090S, SAL2241です
製品特徴
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSSCR3090Sシリーズ。
小フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小型ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
- アームバリエーション：90 mm
- SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸2相ステッピングモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ウェーハ保持：真空吸着、落し込み
- チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| ロボット型式 | SSCR3090S-PM |
| リストブロック | SSARS07846 |
| チャック | 3D-08156 |
| 被搬送物 | ～100 mmウェーハ |
| ウェーハ保持方式 | チャックによる真空吸着 |
| 機械構造形式 | 円筒座標型 |
| 制御軸 | 3軸 |
| モータタイプ | 全軸ステッピングモータ |
| 動作範囲 | ワーク中心到達距離：300 mm（リンクアーム仕様） 旋回角度(θ軸)：370度 上下ストローク(Z軸)：150 mm |
| 搬送速度(平均) | アーム(R軸)：220 mm/sec 旋回角度(θ軸)：180 度/sec 上下ストローク(Z軸)：120 mm/sec |
| 搬送速度(最高) | アーム(R軸)：330 mm/sec 旋回角度(θ軸)：280度/sec 上下ストローク(Z軸)：160 mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| クリーン度 | ISOクラス2（駆動部排気時） |
| ユーティリティ | 電流電圧：DC24V±10% 4A 真空：-53 kPa以上 |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | C4301シリーズ |
| インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O |
