半導体搬送ロボット

STWCR4160 (防水対応)4軸円筒座標型クリーンロボット

  • STWCR4160-300-PM

環境と仕様

製品概要

モデル名
STWCR4160
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
ツインアーム
到達距離
315 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
300 mm
可搬質量
3 kg以下(第3関節換算)

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
STWCR4160-300-PM 300 mm
  • 画像はSTWCR4160-300-PMです

製品特徴

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSTWCR4000シリーズです(300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付)。
保護等級IP64における酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。

  • アームバリエーション:160 mm、200 mm
  • アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保
  • アーム関節部防水構造にVシール使用
  • 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
  • Z軸部防水構造にジャバラ使用
  • ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸2相ステッピングモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様はエッジグリップチャック装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
ロボット型式 STWCR4160-300-PM
被搬送物 ~300 mmウェーハ
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ 2相パルスモータ
動作範囲 アーム第3関節中心:315 mm
旋回角度(θ軸):340度
上下ストローク(Z軸):300 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸):280 mm/sec
旋回角度(θ軸):90 度/sec
上下ストローク(Z軸):90 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸):550 mm/sec
旋回角度(θ軸):120度/sec
上下ストローク(Z軸):120 mm/sec
分解能 アーム(R軸):126 µm以下
旋回角度(θ軸):0.0045度
上下ストローク(Z軸):6.25 µm以下
繰り返し精度 ±0.2 mm以内
ユーティリティ 電源:DC24V±10% 11A
正圧:0.15 MPa
コントローラ仕様
コントローラ型式 C4000シリーズ
インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O
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