半導体搬送ロボット

SVCR31603軸円筒座標型クリーンロボット

  • SVCR3260-040-PM

環境と仕様

製品概要

モデル名
SVCR3160
設置環境
真空部:温度 15℃~50℃
駆動部:(クリーンルーム内大気)温度 15℃~40℃
アーム
シングルアーム
到達距離
320 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
20 mm/40 mm
可搬質量
2 kg (第3関節換算)

製品動画

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
SVCR3160-020-PM 20 mm
SVCR3160-040-PM 40 mm
  • 画像及び動画はSVCR3260-040-PMです

製品特徴

真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。
従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。

  • アームバリエーション: 160 mm, 190 mm, 260 mm, 330 mm
  • アーム関節部には、磁性流体シール装備
  • 真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
  • クリーン対応:アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸2相ステッピングモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様はSVCR3160-020-PMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。
ロボット仕様
ロボット型式 SVCR3160-020-PM
被搬送物 ~300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式 落とし込み/自重グリップ
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ 全軸2相ステッピングモータ
動作範囲 アーム第3関節中心:320 mm
旋回角度(θ軸):330度
上下ストローク(Z軸):20 mm
搬送速度 アーム(R軸):300 mm/sec
旋回角度(θ軸):120度/sec
上下ストローク(Z軸):20 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン対策 磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度 1.33×10-6Pa
質量 ロボット本体 約25 kg
ユーティリティ 電源:DC24V±10% 8A
コントローラ仕様
コントローラ型式 C4000シリーズ
インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • SVCR3160-040-PM

オプション

チャックユニット

※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

その他のオプション

※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。