真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。
従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。
ロボット仕様 | |
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ロボット型式 | SVCR3190-040-PM |
被搬送物 | 〜300 mmウェーハ |
ウェーハ保持方式 | 落とし込み/自重グリップ |
機械構造形式 | 円筒座標型 |
制御軸 | 3軸 |
モータタイプ | 全軸2相ステッピングモータ |
動作範囲 | アーム第3関節中心:380 mm 旋回角度(θ軸):330度 上下ストローク(Z軸):40 mm |
搬送速度 | アーム(R軸):300 mm/sec 旋回角度(θ軸):120度/sec 上下ストローク(Z軸):20 mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
クリーン対策 | 磁性流体シール及びフィルタにより対策 |
耐真空度 | 1.33×10-6Pa |
質量 | ロボット本体 約25 kg |
ユーティリティ | 電源:DC24V |
※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。