PLP対応搬送ロボット JFR

PLPサイズ600㎜×600㎜、最大4kgを平行配置したレイアウトで、高速、低振動で搬送対応。
ロボット単体で2ポート対応可能となる水平多関節ロボット。
ロボットハンドに非接触アライメント機能を搭載し、ロボット単体でワーク位置決めが可能。

φ300 ㎜対応EFEM SSY

ツインアームロボットのアーム斜め動作による受け渡しにより、ロボット単体で2ポート迄を対応。
走行軸との組合せや水平多関節ロボット等、弊社の様々なロボットバリエーションからの選択により、3ポート以上のレイアウト対応も可能。

真空搬送ロボット STVCR

真空環境下でφ300㎜までの各種搬送に適したロングセラー機。
ツインアーム採用によるワーク入れ替え時間短縮、接触型樹脂パッドによるワーク保持で高速搬送とスループット向上。