ジェーイーエルのSEMICON JAPAN 2025 出展機のラインナップを掲載しておりますので、是非ご覧ください。
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超高真空環境で搬送可能。
超高真空ロボットが、次世代半導体製造の信頼と効率を革新。
微細化・高純度化に対応する、最先端の搬送技術をご紹介します。
耐真空度、リークレートは世界最高水準を誇る機体となります。
ウェーハ搬送エリアのN₂濃度を高める事で、酸素や水分を排除し、ウェーハの酸化リスクを低減します。
N₂雰囲気エリアを限定することで、EFEM内全体をN₂パージする仕様と比較し、N₂消費量を約1/2に抑制します。