半導体用ロボット共通の手順となります。

Q1: 電磁弁が動作しない

A1-1

原因

取付部に間違い、抜けはありませんか？VACとLEAKが逆ではないですか？AIRとEXHが逆ではないですか？

対処

間違えている、抜けかけている場合は、正しく接続しなおしてご確認下さい。

A1-2

原因

ロボットの電源は入っていますか？ロボットと通信はできますか？

対処

電源が入っていない場合は、正しい電源を供給して再度ご確認下さい。

A1-3

原因

動作コマンドをご確認下さい。ティーチングBOXでの操作で動作しますか？

対処

コマンドが違う場合は、取扱説明書に従いご確認下さい。

A1-4

原因

真空スイッチでの圧力表示をご確認下さい。

対処

ONとOFFで数値が変わる場合、電磁弁は動作しているのでチャックまでの配管系統をご確認下さい。ONとOFFで数値が変わらない場合、電磁弁をマニュアルで動作します。電磁弁マニュアル動作手順 

*真空圧(VAC)側ではなく破壊ポート(LEAK)側に真空圧をつないだ場合、ON/OFFが逆になります。
*正圧仕様の場合にも同様に正圧(AIR)側ではなく破壊ポート(EXH)側に正圧をつないだ場合、ON/OFFの動作が逆になります。

電磁弁マニュアル動作手順

1. コントローラの電源を切りロボットのケーブルを外します。

2. ケーブル接続側の駆動部カバーを外して下さい。ケーブル接続の上部に電磁弁があります。

3. 電磁弁の前面と上部に小さなスイッチがあります(下図)。
このスイッチでON/OFFがマニュアル動作します。ケーブルを繋いでから電源を入れてスイッチを交互に押して下さい。

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Q2.圧力スイッチが反応しない

A2-1

原因

仕様書に記載の供給圧力がロボットまで供給されていますか？

対処

正しく供給されていない場合、仕様書の供給圧力に従い、正しく接続して下さい。

A2-2

原因

圧力供給部に間違い、抜けはないですか？VACとLEAKが逆ではないですか？AIRとEXHが逆ではないですか？

対処

間違えている、抜けかけている場合は、正しく接続しなおしてご確認下さい。

A2-3

原因

電磁弁が動作していますか？電磁弁動作をご確認下さい。

対処

動作していない場合、Q1.電磁弁が動作しないに従って動作確認をして下さい。

A2-4

原因

圧力スイッチの表示はしていますか？

対処

表示していない場合、圧力スイッチを交換して下さい。

A2-5

原因

圧力スイッチの設定は正しく出来ていますか？

対処

正しく出来ていない場合、取扱説明書に従い再調整して下さい。

A2-6

原因

ロボット/コントローラ間のケーブルに抜け、緩みはありませんか？

対処

抜け、緩みがある場合、正しく接続してネジ締めまたはロックをして下さい。
正しく接続している場合は、圧力スイッチを交換して下さい。