トラブルシューティング（半導体用ロボット共通）

概略チャート
概略チャート (PDF)
初期動作でのトラブル
初期動作 (PDF)
吸着系のトラブル
吸着系 (PDF)
操作、制御トラブル
操作、制御 (PDF)
アームをぶつけた場合
調整につきましては、お客様の責任においてお願い致します。
（当社指定のトレーニングの受講をおすすめ致します）
アーム (PDF)
原点調整マニュアル_シングルアーム (PDF)
原点調整マニュアル_ツインアーム (PDF)
エラーが発生する場合
01～06エラー (PDF)
*1エラー (PDF)
*2エラー (PDF)
*3エラー (PDF)
*4エラー (PDF)
07エラー (PDF)
08エラー (PDF)
75エラー (PDF)
77エラー (PDF)

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