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トラブルシューティング（半導体用ロボット共通）

トラブルシューティング（半導体用ロボット共通）

概略チャート: 概略チャート (PDF)

初期動作でのトラブル: 初期動作 (PDF)
吸着系のトラブル: 吸着系 (PDF)
操作、制御トラブル: 操作、制御 (PDF)
アームをぶつけた場合: 調整につきましては、お客様の責任においてお願い致します。
（当社指定のトレーニングの受講をおすすめ致します）; アーム (PDF); 原点調整マニュアル_シングルアーム (PDF); 原点調整マニュアル_ツインアーム (PDF)
エラーが発生する場合: 01～06エラー (PDF); *1エラー (PDF); *2エラー (PDF); *3エラー (PDF); *4エラー (PDF); 07エラー (PDF); 08エラー (PDF); 75エラー (PDF); 77エラー (PDF)

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