新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版

ジェーイーエルは多種多様なウェーハをアライメント可能な新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版を開発致しました。
お客様ご自身でアライメント調整ができるため、メーカーへの問い合わせや実機を送る手間と時間が大幅に削減できます。
2016年12月14日リリースのアライナ「SAL3000HVシリーズ」からフルオート調整対応版のJELアラインツールが付属。
出荷済の対象機も改造にて対応致します。 詳細は弊社営業までお気軽にお問い合わせ下さい。

対象機種:SAL3000HVシリーズ
SAL3262HV(2インチ〜150 mmウェーハ対応)
SAL3482HV(100〜200 mmウェーハ対応)
SAL38C3HV(200〜300 mmウェーハ対応)

「JELアラインツール」の3つのポイント

フルオート調整中(イメージ図)

1. 難しい調整はソフトにおまかせ

しきい値調整、LED照度調整などの難しい調整は一切なし!
フルオートで調整から設定までをソフトが自動で行ってくれます。


開始ボタン(イメージ図)

2. クリックひとつで操作が完了

開始ボタンをクリックするだけ!
現場にてスピーディーにアライメントを可能にします。


ウェーハタイプ

3. どんな材質のウェーハでも対応が可能様々なウェーハタイプ

ウェーハの材質にあった調整を自動で行います。


使用条件

対応OS ○:対応, ×:非対応
OS 32/64 bit 日本語/英語
Windows 7 32
64
Windows 8 32 ×
64
Windows 8.1 32 ×
64
Windows 10 32
64
Windows Embedded 32
64 ×

接続:USB(Bタイプ)

※このソフトウェアは調整後の位置決め精度を保証するものではありません。その為、調整後の位置決め精度に関しては、お客様所有の機器にてご確認をお願い致します。