技術情報
MEMSとは
MEMS（メムス）とは「微小な電気機械システム」という意味の英語「Micro Electro Mechanical Systems」の略称で、半導体のシリコン基板・ガラス基板・有機材料などに、機械要素部品のセンサ・アクチュエータ・電子回路などをひとまとめにしたミクロンレベル構造を持つデバイスを指します。
日本では「マイクロマシン」と呼ばれることもあります。MEMSと呼ばれる機器の大きさは、一般的には全長がmm単位で、その部品はµm単位という極小の世界です。
MEMSの特徴
MEMSと一般の半導体素子との違いは、構造が立体的であり、可動部を有するという点です。しかしMEMSの定義は未だあいまいな状態で、可動構造がないDNAチップなどもMEMSと呼ばれています。機械を微小化すると、小型化はもちろん、資源や消費エネルギーの節約による低コスト化もできるなど、多くのメリットがあります。
MEMSは小型化、省電力化、高機能化、低コスト化が必要な機器には欠かせないデバイスと言えます。
MEMSのデバイス
世の中には半導体が至る所に利用されています。MEMSも同様に、あらゆる製品の中に存在しています。
ここでは代表的なMEMSのデバイスを紹介します。
- プリンタヘッド
（特にインクジェットプリンタ用） - デジタルミラーデバイス（DMD）
- 圧力センサ
- HDDのヘッド
- 加速度センサ
- ジャイロスコープ
- DNAチップ
- 光スイッチ
- 光スキャナ
- ボロメータ型赤外線撮像素子
- AFM用カンチレバー
- 流路モジュール
- 波長可変レーザ
- 光変調器