MEMSデバイス・LEDウェーハ用小径ウェーハ搬送ロボットのご紹介

ロボットフットプリント従来機比□240 mm→□160 mm

次世代照明として低消費電力、長寿命の特徴を持つLED照明は、今では公共施設や一般向けにその需要が拡大しています。
LEDや化合物半導体などに使用される小型サイズ(50.8 mm〜150 mm)のウェーハに対して、搬送ロボットが大き過ぎると疑問をもたれたことはないでしょうか。

ジェーイーエルは小型サイズウェーハの搬送に対応した、省スペース・低価格をコンセプトに各種製品をラインナップしています。
また、搬送シーンを実際に体験頂ける様、弊社でのデモンストレーション及びお客様の下へデモ機を直接搬入してのデモンストレーションを実施しています。

資料、デモンストレーションのご希望は弊社営業まで遠慮なくお申し付けください。

MEMSとは

小型サイズウェーハ搬送対応製品

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